混合介质多层板制造等离子体处理技术

等离子体，是指像紫色光、霓虹灯光一样的光，也有称其为物质的第四相态。等离子体相态是由于原子中激化的电子和分子无序运动的状态，所以具有相当高的能量。
　　(1)混合介质多层板制造等离子体处理技术机理：
　　在真空室内部的气体分子里施加能量(如电能)，由加速电子的冲撞，使分子、原子的最外层电子被激化，并生成离子，或反应性高的自由基。
　　如此产生之离子、自由基被连续的冲撞和受电场作用力而加速，使之与材料表面碰撞，并破坏数微米范围以内的分子键，诱导削减一定厚度，生成凹凸表面，同时形成气体成分的官能团等表面的物理、化学变化，提高镀铜粘结力、除污等作用。
　　上述等离子体处理用气体常见的有氧气、氮气和四氟化碳气。下面通过由氧气和四氟化碳气所组成之混合气体，举例说明等离子体处理之机理：
　　(2)用途：
　　1、凹蚀 / 去孔壁树脂沾污；
　　2、提高表面润湿性(聚四氟乙烯表面活化处理)；
　　3、采用激光钻孔之盲孔内碳的处理；
　　4、改变内层表面形态和润湿性，提高层间结合力；
　　5、去除抗蚀剂和阻焊膜残留。